原子荧光光谱仪是将样品溶液中的待分析元素还原为挥发性共价气态氢化物(或原子蒸汽)，然后借助载气将其导入原子化器,在氩-氢火焰中原子化而形成基态原子。基态原子吸收光源的能量而变成激发态,激发态原子在去活化过程中将吸收的能量以荧光的形式释放出来, 此荧光信号的强弱与样品中待测元素的含量成线性关系,因此通过测量荧光强度就可以确定样品中被测元素的含量。
原子荧光光谱仪利用氢化物发生-原子荧光光谱法(HG-AFS),目前可测定As、Sb、Bi、Hg、Ge、Pb、Sn、Se、Te、Zn、Cd和Cu12种元素，检出限可达ppb级别，就实际应用来说目前国标法多用来检测砷、汞、硒等元素，原子荧光光谱仪是国内具有自主知识产权的一款仪器，目前只有国内制定相关标准，国外测砷、汞、硒直接用ICP-MS，不认可原子荧光光谱仪。