1、重力法

拧开排油阀，将泵体油箱抬高让真空泵内旧油自动地流到旋油螺帽位置让油流出。旧油放尽后，从真空泵加油处注入少量的干净真空泵油(100~500mL)，冲洗真空泵腔内部，接着，开动真空泵运转1min左右，再关真空泵，将注入的新油放出。若放出的油仍不干净，应继续注入新的杂油冲洗，直到干净为止。然后，拧紧排油阀．拧下加油孔上的加油帽，向真空泵内加入新的真空泵油，使油面达到油标线，再旋上加油帽。

2、加压法

将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉。关闭抽气口，同时开启真空泵，打开气镇阀和遮盖真空泵的部分排气口，以产生一个足够的内部压强，使脏油迅速地放出。然后，按方法(1)冲洗真空泵腔内部，换新油。