1、将设备所有用水系统内的余水排空，尽量保证超纯水机内部干燥、无余水、并且保证所有水管道的阀门关闭。

2、该设备上的相关阀门关闭，避免有水倒灌。

3、设备的原水箱、纯水箱、输水管道、药剂添加箱必须清理干净。

4、设备停运期间，安排一名工作人员每天对超纯水机进行全面检查，做好检查记录。

5、 夏季做好防潮、防腐工作，冬季做好防冻工作，车间所有门窗关闭，不需要的电源、水龙头关闭。

6、如果检查人员在巡检设备的时候发现任何的设备情况，都应及时通知上级及技术人员对超纯水机进行维护，巡检人员做好超纯水机记录。